在半導(dǎo)體、光伏等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中，電子特氣被譽(yù)為芯片制造的“血液”。其中，超純氨與高純二氧化碳作為關(guān)鍵工藝氣體，其純度直接決定了晶圓制造的良率與性能。長(zhǎng)期以來(lái)，高端電子特氣制備裝備的核心技術(shù)主要掌握在少數(shù)國(guó)際巨頭手中，成為制約我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈安全的關(guān)鍵瓶頸。隨著國(guó)家“強(qiáng)鏈補(bǔ)鏈”戰(zhàn)略深入實(shí)施，實(shí)現(xiàn)高端氣體裝備國(guó)產(chǎn)化替代，已成為行業(yè)發(fā)展的必然趨勢(shì)。

挑戰(zhàn)：毫厘之間的執(zhí)著追求

電子級(jí)氣體的制備是一場(chǎng)關(guān)于“純凈度”的較量。無(wú)論是超純氨還是電子級(jí)二氧化碳，都要求將水分、氧含量、顆粒物及金屬離子等雜質(zhì)控制在ppb（十億分之一）甚至ppt（萬(wàn)億分之一）級(jí)別。任何微量的雜質(zhì)波動(dòng)，都可能導(dǎo)致整批芯片報(bào)廢。這對(duì)提純裝備的材料選擇、工藝控制、密封技術(shù)及在線監(jiān)測(cè)能力提出了近乎苛刻的要求。如何在大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)中持續(xù)、穩(wěn)定地輸出超高純度氣體，正是檢驗(yàn)裝備制造商技術(shù)實(shí)力的核心標(biāo)準(zhǔn)。

▲超純氨電子氣和二氧化碳液化提純裝置

新鄉(xiāng)誠(chéng)德超純氨電子氣和二氧化碳液化提純裝置

面向國(guó)家戰(zhàn)略需求與行業(yè)痛點(diǎn)，新鄉(xiāng)誠(chéng)德研發(fā)了超純氨電子氣和二氧化碳液化提純裝置。該系列裝備凝聚了新鄉(xiāng)誠(chéng)德在氣體分離與純化領(lǐng)域多年的技術(shù)積淀，為國(guó)內(nèi)高端制造提供關(guān)鍵裝備支持。

●提純工藝：裝置采用了深度凈化與精密精餾技術(shù)。針對(duì)超純氨，系統(tǒng)能迅速脫除水分與有機(jī)雜質(zhì)。針對(duì)二氧化碳，重點(diǎn)攻克了液化過程中的二次污染難題。產(chǎn)品純度穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。

●潔凈控制：秉持“材質(zhì)決定純度”理念，裝置所有與氣體接觸的部件均選用高適配性特種材料，并經(jīng)過特殊工藝處理。結(jié)合全封閉潔凈設(shè)計(jì)與嚴(yán)格清洗流程，從源頭杜絕雜質(zhì)引入。

新鄉(xiāng)誠(chéng)德的超純氨電子氣和二氧化碳液化提純裝置，既可應(yīng)用于新建電子特氣生產(chǎn)線，也可用于現(xiàn)有產(chǎn)線升級(jí)改造。模塊化設(shè)計(jì)與靈活產(chǎn)能配置，能夠適配不同規(guī)模客戶的多樣化需求。

▲超純氨電子氣和二氧化碳液化提純裝置

以裝備之強(qiáng)，助產(chǎn)業(yè)之興

高端裝備是制造業(yè)的脊梁。新鄉(xiāng)誠(chéng)德堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新，為客戶提供更安全、更純凈、更可靠的氣體解決方案，與中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)同頻共振，共同筑牢國(guó)家產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全屏障。未來(lái)，我們將繼續(xù)秉持匠心、深耕技術(shù)，助力“中國(guó)芯”穩(wěn)健騰飛。